其特点中低速、复杂均密轨迹液中抛光特征，抛光机的抛光速度有着很大的差异，一般的打磨抛光机速度是在20米每分钟以上，其轨迹多为简单的打磨轨迹，通常是在不在抛光液中抛光的。
主要是在打磨抛光机中使用的模具、磨料以及抛光中所使用的模具以及磨料时非常相似的，所以这也是打磨抛光机具有抛光的主要原因，加工的光亮度好、加工的效率高的特点，其打磨抛光机属于超精研抛加工所以工件加工的表面是不会出现任何的表面缺陷的，这是超精密打磨抛光机有着优秀的抛光的表现，这也是其他的传统的抛光工艺无法做到的。
超精密的打磨抛光机主要是在使用的弹簧的压力下进行的，其打磨抛光机具有着一定的切削刚性，当打磨到工件表面上凸起的部分时，在打磨抛光机切削力的作用之下，切削力也会增大，着就会很容易的打磨掉工件凸起部分，所以这种超精密打磨抛光机会死可以看做是一种特殊的形式的抛光，这也是超精密打磨抛光机与传统抛光工艺的不同和优势。
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